MEMS

Wikipedia article "Microelectromechanical systems".

中國中芯國際已開始提供MEMS代工服務。

這是筆者就MEMS代工業務采訪該公司Director of Technology and Marketing, Silicon MEMS, Microdisplay & 3D IC負責人黃河（Herb Huang）時獲悉的。 　　我們從通過微細化以外的方法來發展半導体的“More than Moore”的角度進行MEMS的生產。由MEMS技術將光學部件和机械部件等集成在LSI上，使LSI成為不只是電子電路的多功能器件，實現了產品的差异化……